• Die Nullzählung beträgt <1,5 Zählungen/m3 ohne Verwendung von Nullzählungs-Subtraktionsverfahren
• Zähleffizienz bei: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
• 83 % kleinere Stellfläche als Konkurrenzprodukte (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
• Nachfüllen der Arbeitsflüssigkeit nur 1x pro Jahr bei jährlicher Kalibrierung erforderlich, 15 Monate zwischen den Nachfüllungen bei 24×7 Vollzeitbetrieb möglich
• Empfindlichkeit: ≥ 10 nm
• Probenflussrate: 2,8 LPM (0,1 CFM)
• IP-Adresse und Standorte sind in der Basisstation gespeichert und ermöglichen einen “Hot Swap” des Geräts
• 4-20mA
• USB-Anschlüsse (2): für Seriell über USB (Serviceanschluss) und USB-Stick
• Ethernet-Anschlüsse (2): für Ethernet-Protokoll und MODBUS über TCP/IP
• Betriebsbereit 20 Minuten nach dem Einschalten
• Daten können mit der Anlagenüberwachungssoftware PMS Facility Net angezeigt, analysiert und gemeldet oder direkt an SCADA-Systeme von Drittanbietern oder Prozess-Tool-Eingänge übertragen werden
• Sequentielle oder programmierte Sequenzüberwachung (mit ParticleSeeker 10-port Probenehmer)
• Hochdruckgas-kompatibel
• Geeignet für den Einsatz in Umgebungen der ISO-Klasse 1

• Die kleinste Baugröße der Klasse ermöglicht die Überwachung innerhalb von Prozesswerkzeugen in den kritischsten Funktionsbereichen und auf überlasteten Hochdruck-Gasversorgungspads
• Das zum Patent angemeldete System zur Handhabung von Arbeitsflüssigkeiten ist robust und effizient und ermöglicht einen 24/7/365-Dauerbetrieb, ohne dass der Benutzer eingreifen muss, und verhindert Unterbrechungen bei der Probenahme und Datenerfassung
• Die klassenbeste externe volumetrische Größe setzt den Standard für CPCs, die für Fertigungs- und Prozesssteuerungsanwendungen entwickelt wurden
• Benötigt keinen Luftstrom im Mantel und ermöglicht volumetrische Probenahme
• Kein Potenzial für unerwünschte Flüssigkeitsmigration während des Versands, der Handhabung und der Installation, wie es bei anderen CPCs für industrielle Anwendungen üblich ist
• Keine internen Pumpen oder Lüfter; keine Wartung und keine potenzielle Partikelbildung
• Möglichkeit zur Überwachung mehrerer Probenahmestellen in einer sequentiellen oder programmierten Abfolge

• Point of Use (POU)-Überwachung in Prozessbereichen
• Kontinuierliche Überwachung der Partikelaktivität in Echtzeit
• Einsatz in Halbleiter-Prozess-Tools und Front-End-Equipment-Modulen (EFEM)

NanoAir + ParticleSeeker (Probenehmer mit 10 Anschlüssen):

• Überwachung innerhalb von Prozesswerkzeugen Equipment Front End Module (EFEM) Miniumgebungen
• Ideal für Anwendungen, die eine programmierte Probenpunktüberwachung erfordern, die dem Weg des Wafers oder anderer kritischer Oberflächen folgt
• Großflächige Kontaminationsüberwachung von bis zu 120 m2 Fertigungs-/Prozessfläche

NanoAir + HPD-III (für die Überwachung von Hochdruck-Inertgas):

• Die Verwendung des NanoAir-Partikelzählers mit dem HPD III (High Pressure Diffuser) von PMS ermöglicht eine kontinuierliche, hochempfindliche Messung von Hochdruck-Bulk-Gasen in Echtzeit.