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Grundlagen der Nanopartikelkontamination in Reinstwassersystemen (UPW)

Führende Unternehmen der Halbleiterindustrie haben betont, wie wichtig es ist, die Kontamination durch Nanopartikel bei der Herstellung und Verteilung von ultrareinem Wasser (UPW) zu verstehen. Sie haben die Vorteile einer Überwachung der Partikelbasislinie bei 20 nm gegenüber der bestehenden Partikelleistung von 50 nm des modernsten UPW-Systems untersucht. Viele interessante Untersuchungen in diesem Bereich drehen sich um die Beweggründe, den Wert der Überwachung der Partikelgröße bis hinunter zu 20 nm im UPW-System zu untersuchen.

Cleanroom design basics
Datenmanagement-Serie 4 – FacilityPro®-Automatisierungslösungen im Vergleich zu einem PC-basierten System für Anlagenüberwachungssysteme

Der aktuelle Trend bei Anlagenüberwachungssystemen geht dahin, im Vergleich zu den älteren PC-basierten Ansätzen eine stärker industriell automatisierte Lösung anzubieten. PC-basierte Anlagenüberwachungssysteme waren Ende der 1990er und Anfang der 2000er Jahre weit verbreitet. Sie zeichneten sich durch geringere Anschaffungskosten und kürzere Installationszeiten im Vergleich zu automatisierten Steuerungssystemen aus.

Cleanroom design basics
Datenmanagement Serie 1 – Industrielle Automatisierungstechnik anwenden: Aufbau zuverlässiger und sicherer Anlagenüberwachungssysteme

Konzepte für Design und Architektur der industriellen Automatisierung werden in Fabriken auf der ganzen Welt eingesetzt. Diese Konzepte sind erfolgreich, weil sie flexibel, autonom und zuverlässig sind und ihre Komponenten austauschbar sind. Particle Measuring Systems (PMS) hat dieselben Konzepte und Lehren beim Aufbau zuverlässiger Facility-Monitoring-Systeme (FMS) mit Datenintegrität untersucht und angewendet.

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