ParticleSeeker™ Multiport-Aerosol-Probenehmer
Sensitivität: 10 nm
Der ParticleSeeker ist ein Aerosolverteiler mit 10 Anschlüssen, der zum NanoAir™ Aerosol-Nanopartikelzähler passt.
Er wurde speziell für den Einsatz in den kritischsten Fertigungsbereichen entwickelt und ist für Anwendungen verfügbar, bei denen mehrere Probenstellen in einer sequentiellen oder programmierten Abfolge überwacht werden müssen. Der ParticleSeeker ermöglicht auf einzigartige Weise die Überwachung von Mini-Umgebungen innerhalb der Front-End-Module (EFEM) von Prozessgeräten. Zusammen bieten der ParticleSeeker und NanoAir die Möglichkeit, bis zu 120 m2 Fertigungs-/Prozessfläche zu überwachen, wenn alle 10 Verteileranschlüsse verwendet werden.
Der ParticleSeeker wurde speziell für den Einsatz in den kritischsten Fertigungsbereichen entwickelt und kann für Anwendungen eingesetzt werden, bei denen mehrere Probenstellen in einer sequentiellen oder programmierten Abfolge überwacht werden müssen. Der ParticleSeeker ermöglicht auf einzigartige Weise die Überwachung von Mini-Umgebungen innerhalb der Front-End-Module (EFEM) von Prozessanlagen. Zusammen bieten der ParticleSeeker und NanoAir die Möglichkeit, bis zu 120 m2 Fertigungs-/Prozessfläche zu überwachen, wenn alle 10 Verteileranschlüsse verwendet werden.
Produktdetails
- 10 Verteilerstationen
- Durchflussmenge der Probe: 0,1 CFM
- Probenahme-Intervall: Min. 1 Sekunde, Max. 3600 Sekunden
- Abdeckung von bis zu 120 m2 Produktions-/Prozessraum
- LED’s zeigen aktive Probenahmeschnittstelle(n) an
- Mehrere (4) Probenahmemodi10 manifold points
» Ensemble: Abtastung aller Anschlüsse gleichzeitig
» Seeker: Zielt auf jeden Anschluss, der während des Ensemble-Betriebs identifiziert wird
» Synch: kommuniziert in Echtzeit mit dem Prozesswerkzeug, um den Fertigungsprozess (Waferpfad) durch Prozesswerkzeuge und Mini-Umgebungen zu verfolgen
» Benutzerdefiniert
- Kleine Grundfläche: 8,2 x 5,4 x 4,7 Zoll (21x14x12 cm)
- IP-Adresse und Standorte des Geräts verbleiben in der Basisstation und können mit minimaler Ausfallzeit (< 5 Minuten) ausgetauscht werden
- Trockenkontakt-Relais (4 Stück)
- 4-20mA Analogeingänge (x4) und -ausgänge (x2) für zusätzliche Sensoren (z.B. Temp., RH, DAP)
- USB-Anschluss
- Ethernet-Anschlüsse (2): Ethernet-Protokoll und MODBUS über TCP/IP
- Ermöglicht eine Probenabdeckung von 120 m2 im Produktions-/Prozessbereich
- Einziger Aerosolpartikelverteiler auf dem Markt, der speziell für die Verwendung mit Proben-Nanopartikeln (<100nm) entwickelt wurde.
- Eliminiert Übersprechen und andere übliche Probleme bei der Handhabung von Nanopartikeln
- Fähigkeit zur Überwachung mehrerer Probenorte in einer sequentiellen oder programmierten Abfolge
- Mehrere Eingangs-/Ausgangskommunikationsschnittstellen ermöglichen einen nahtlosen SCADA-Datentransfer, der die Ausfallzeiten der Prozesswerkzeuge reduziert
- DC-Stromversorgungsanschlüsse (x2) ermöglichen die gemeinsame Nutzung der Stromversorgung des ParticleSeeker mit einem NanoAir
ParticleSeeker + NanoAir (Aerosol-Partikelzähler):
- Überwachung innerhalb von Prozesswerkzeugen Equipment Front End Module (EFEM) Miniumgebungen
- Ideal für Anwendungen, die eine programmierte Probenpunktüberwachung erfordern, die dem Weg des Wafers oder einer anderen kritischen Oberfläche folgt
- Umfassende Kontaminationsüberwachung bei Verwendung mehrerer Verteileranschlüsse
Ressourcen
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