Charakterisierung der kritischen Faktoren, die die Stabilisierungszeit von Partikelmessungen in Reinstwassersystemen beeinflussen
Partikelmessungen in Reinstwassersystemen (UPW) können eine beträchtliche Zeit in Anspruch nehmen, um nach einer Unterbrechung des Normalbetriebs (z. B. durch Wartungsabschaltungen) zu einer stabilen Basislinie zurückzukehren. Es wurde eine Charakterisierungsstudie durchgeführt, um den Beitrag kritischer Faktoren zur Stabilisierungszeit von Messungen in UPW für Partikel von 20 nm und mehr zu bewerten. Es zeigte sich, dass invasive Maßnahmen, wie die Installation neuer Probenschläuche und Komponenten, den größten Einfluss auf die Stabilisierungszeit haben. Im Gegensatz dazu hatten nicht-invasive Maßnahmen, wie die Betätigung von PTFE- und PFA-Ventilen und die typische Aufwärmphase des Partikelzählers, einen weitaus geringeren Einfluss. Es wurde auch gezeigt, dass spezifische Maßnahmen, wie das angemessene Spülen neuer Schläuche und Komponenten und die Minimierung der Länge der Probenschläuche, die Partikelreinigungszeit wirksam reduzieren können.
In diesem kostenfreien Webinar erfahren Sie:
- wie lange der Flüssigpartikelzähler braucht, um sich zu reinigen,
- wie lange es dauert, bis das Gerät in Reinstwassersystemen stabile Daten liefert.
Wer sollte teilnehmen:
Alle Benutzer von Inline-Flüssigpartikelzählern, insbesondere diejenigen, die in den folgenden Abteilungen arbeiten:
- Qualitätssicherung
- Verfahrenstechnik
- Produktionstechnik
- Anlagentechnik
Das Webinar wird präsentiert von:
Peter Sun, Application Manager, Particle Measuring Systems
Peter Sun verfügt über mehr als 15 Jahre Erfahrung in der Halbleiterindustrie in den Bereichen Prozesschemie und Kontaminationskontrolle. Peter Sun hat einen B.S. in Chemie und einen Master in physikalischer Chemie. Er ist in unserem Büro in Korea tätig.
