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20 nm Chemische Chargen-Probenahme-Lösung mit dem SLS-20 Spritzenprobenehmer

 

Die Spezifikation der Partikelgröße für Prozess ist eine entscheidende Qualitätskontrolle für die Halbleiterindustrie. Führende Mikroelektronikhersteller benötigen sehr saubere Prozesschemikalien, die rigoros auf Verunreinigungen überwacht und auf eine Partikelgröße von 20 nm oder darunter gefiltert werden.

Nehmen Sie an diesem Webinar teil und erfahren Sie mehr über die weltweit führende Lösung zur Überwachung chemischer Verunreinigungen mit einer Partikelgröße von 20 nm, den Partikelzähler Chem 20 von Particle Measuring Systems, und wie er mit dem Probenehmer SLS 20 kombiniert werden kann, um eine vollständige Lösung für die Chargenprobenahme zu erhalten. Zu den behandelten Themen gehören:

  • Produktmerkmale
    • Überwindung der Hintergrundstreuung
    • Laser-Sicherheit
    • Erkennung von Blasen im Probenfluss
    • Umgang mit einer Verringerung des Probenflusses
    • Erkennung von Lecks
    • Erzielung stabiler und wiederholbarer Daten
  • Prozesse vor der Probenahme
    • Reinigung der Behälter
    • Spülung
  • Probenabfall
  • Wechsel der Chemikalien
  • Anwendungsfälle für verschiedene Chemikalien

 

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Webinar Presented By:
Dwight Beal
Global Product Line Manager Liquids

Dwight Beal’s experience exceeds 35 years working directly with industry professionals, scientists, and engineers to provide reduced sampling variation using particle contamination monitoring for liquid applications. He understands the challenges customers experience and is well-known in the industry for providing the best contamination monitoring and data management solutions.

Siwei Wang
Applications Engineer, Particle Measuring Systems

Siwei Wang verfügt über umfangreiche Erfahrungen in der Elektronikfertigung und Forschung und Entwicklung. Im Jahr 2013 promovierte er an der University of South Carolina, Columbia, USA, in Maschinenbau. Siwei arbeitet derzeit als Anwendungsingenieur für flüssige Produkte bei Particle Measuring Systems. In seiner Freizeit spielt Siwei gerne Fußball und reist.