20 nm Online- und Probenpartikelüberwachung

Hochmoderne mikroelektronische Prozesse erfordern sehr saubere Prozesschemikalien, die hochgradig gefiltert und auf eine Partikelgröße von 20 nm oder weniger eingestellt sind. Mit einer Partikelempfindlichkeit von 20 nm unterstützt der chemische Partikelzähler Chem 20 von Particle Measuring Systems (PMS) die International Roadmap for Devices and Systems (IRDS) und eine Vielzahl von Chemikalien.

Umfangreiche Daten über chemische Verteilungs- und Verpackungssysteme belegen, dass der Chem 20 Chemiepartikelzähler mit einer Empfindlichkeit von 20 nm größere Partikelkonzentrationen mit einer besseren Statistik als Konkurrenzprodukte erkennt. Der Chemiepartikelzähler Chem 20 ist ein wertvolles Werkzeug, mit dem Anlagen- und Prozessingenieure chemische Partikelquellen schnell aufspüren und charakterisieren können, bevor sie sich auf die Prozess- und Geräteleistung auswirken. Der Partikelzähler Chem 20 unterstützt sowohl die Online- als auch die probenbasierte Überwachung und bietet eine flexible Überwachung von der eingehenden Qualitätskontrolle bis zum Einsatzort.

Produktmerkmale

• Überwindung von Hintergrundstreuung
• Laser-Sicherheit
• Erkennen von Blasen im Probenfluss
• Handhabung einer Reduzierung des Probenflusses
• Erkennung von Lecks
• Erzielung stabiler und wiederholbarer Daten

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