Partikelzähler für Flüssigkeiten: LiQuilaz® II S-Serie

Sensitivity range: 0.2 – 20 µm

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Produktdetails

  • Größenbereich der Partikelzähler 0,2 – 20,0 μm
  • Durchflussrate von bis zu 80 ml/min
  • Kompatibel mit einer breiten Palette von Prozesschemikalien
  • Geringer Platzbedarf für eine einfache Platzierung überall im Prozess
  • Vom Benutzer gewählter Schwellenwert für die Partikelgröße

S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm

  • Inline– und Batch-Probenahmefunktionen
  • Chemische Brausemessungen mit Kompressionsprobenahme
  • Chemische Qualitätssicherung
  • Überwachung von Prozessbädern
  • DI-Wasser-Überwachung
  • Systeme zur Chemikalienzufuhr
  • Überwachung von Photoresist
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