Beseitigt Blasen, gewährleistet eine genaue Partikelmessung und optimiert die chemische Prozesssteuerung mit SEMI C1-konformer Technologie.
Genaue Partikelmessung unter schwierigen Bedingungen
Kompressionsprobenahme: Setzt die Probe unter Druck, um Blasen aufzulösen und falsche Partikelzählungen in sprudelnden oder gashaltigen Chemikalien zu verhindern.
Konformität: Erfüllt vollständig die SEMI C1-Standards für die Messung von Partikeln in Prozesschemikalien und gewährleistet damit eine Genauigkeit nach Industriestandard.
Vielseitigkeit und breites Anwendungsspektrum
Geeignet für eine Vielzahl korrosiver Flüssigkeiten, einschließlich Schwefelsäure, bei Temperaturen bis zu 150 °C.
Unterstützt mehrere LiQuilaz®-Partikelzähler für Größenbereiche von 0,2 µm bis 20 µm und eignet sich somit für die Überwachung von Halbleiter- und chemischen Prozessen.
Benutzerfreundliche Datenverwaltung
Die FacilityNet-Software vereinfacht die Online-Probenahme mit SPC-Diagrammen, Zeitdiagrammen und Sensorstatus.
Die SamplerSight-Software unterstützt die Chargenprobenahme, erweiterte Datenspeicherung, Abruf und Berichterstellung.