Partikelzähler für Chemikalien: UltraChem® 40

Sensitivitätsbereich: 40 - 125 nm

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Produktdetails

  • Kompatibel mit einer Vielzahl von Chemikalien
  • Empfindlichkeit 40 nm
  • Geeignet u. a. für folgende Chemikalien: PGMEA, Fotolack-Lösungsmittel, Fluorwasserstoff (HF) und Schwefelsäure
  • 3 Jahre Garantie
  • Festkörperlaser
  • Einfaches Design
  • Funktionen für Inline- und chargenweise Probenahme
  • Mehrere Kommunikationsprotokolle
  • Großes Probenvolumen für verbesserte Datenqualität
  • Die adaptive Technologie macht das Messgerät unempfindlich gegenüber den meisten optischen Verunreinigungen – Sie sehen, was Ihr Partikelzähler sieht
  • Messung kleiner Partikel in einer Vielzahl von Chemikalien, darunter auch in Medien mit hoher Molekülstreuung
  • Kleine Stellfläche ermöglicht Aufstellung an verschiedenen Standorten
  • Schnelldiagnose und Zufallsverteilung warnen bei realen partikelbezogenen Ereignissen
  • Monitoring von VE-Wasser
  • Monitoring von Chemikalienversorgungssystemen
  • Qualitätssicherung von Chemikalien
  • Immersionslithographie
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