Filtersystem-Integritätstest gemäß ISO 14644-3

Integrität von Filtersystemen in anspruchsvollen Reinraumanwendungen Die ISO 14644 ist eine Normensammlung verschiedener Vorschriften im Reinraumbereich. Das Blatt 3 der ISO 14644 beschreibt verschiedene Testverfahren die im Reinraum durchgeführt werden sollten. Ein zentraler Test dabei ist die Leckprüfung am eingebauten Filtersystem. Diese Leckprüfung dient zum Nachweis ordnungsgemäß eingebaute Filtersysteme  sowie…