Integrität von Filtersystemen in anspruchsvollen Reinraumanwendungen

Die ISO 14644 ist eine Normensammlung verschiedener Vorschriften im Reinraumbereich. Das Blatt 3 der ISO 14644 beschreibt verschiedene Testverfahren die im Reinraum durchgeführt werden sollten. Ein zentraler Test dabei ist die Leckprüfung am eingebauten Filtersystem. Diese Leckprüfung dient zum Nachweis ordnungsgemäß eingebaute Filtersysteme  sowie defektfreie Filter.

 

Die Norm beschreibt diesen Test auf zwei verschiedene Arten, jedoch ist im DACH – Raum die Überprüfung mittels Laserpartikelzähler und DEHS üblich, daher nennt man den Test auch manchmal noch DEHS – Test. Die Leckprüfung am eingebauten Filtersystem mittels Laserpartikelzähler unterscheidet zwischen 2 verschiedenen Messverfahren.

Zum einen das Messverfahren mittels kontinuierlicher Abtastung, oder auch Scanverfahren genannt, und das Verfahren für die Gesamtprüfung von Lecks der in Luftleitungen oder luftführenden Geräten eingebauten Filter, auch integrale Messung genannt. Das Scanverfahren wiederum ist nochmals in zwei Stufen aufgeteilt.

• Stufe 1: Hierbei wird die saubere Seite des Filter auf ein mögliches Leck abgetastet, sollte dabei an verschiedenen Stellen eine erhöhte Partikelkonzentration festgestellt werden, wird an diesen Stellen die Messungen der Stufe 2 durchgeführt.
• Dies ist eine Messung mittels ruhender Sonde. Während dieser Nachmessung wird überprüft ob an den Positionen wo eine erhöhte Partikelkonzentration festgestellt wurde auch wirklich eine Leckage vorliegt.

Die zulässigen Werte werden hierbei mittels komplizierter Berechnungen bestimmt.

Das integrale Messverfahren wiederum ist ein Verfahren, welches nicht so empfindlich ist wie das Scanverfahren, hier wird ähnlich wie bei dem Scanverfahren der Stufe 2, die Messung mittels ruhender Sonde vorgenommen, wenn es die Umstände zulassen, sollte auch bei diesem Test die Fläche mittels Messsonde abgefahren werden.

Im Rahmen von Clean Air Services (CAS) für die Reinraumzertifizierung können unsere Techniker Filtersystem-Integritätstests (DEHS) durchführen.

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