Partikelzählung in ultrareinem Wasser
Moderne Reinstwassersysteme sind heute so sauber, dass eine Quantifizierung der Partikelkonzentration schwierig ist. Bei der Messung der Reinheit des Wassers kann die Knappheit der Partikel zu statistischen Schwankungen führen, die genauso groß oder größer sein können als die tatsächlichen Partikelkonzentrationen. Ein gründliches Verständnis der Statistik der Partikelzählung ist erforderlich, um diese Schwankungen abzuschwächen und die Partikelkontamination effektiv zu messen. In diesem Beitrag wird die Größenverteilung der in Reinstwassersystemen vorkommenden Partikel erörtert, die Statistik der Partikelzählung erläutert und gezeigt, wie Empfindlichkeit und Probenvolumen die statistische Leistung von Partikelzählern beeinflussen.
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