Charakterisierung der kritischen Faktoren, die die Stabilisierungszeit von Partikelmessungen in Reinstwassersystemen beeinflussen

Partikelmessungen in Reinstwassersystemen (UPW) können eine beträchtliche Zeit in Anspruch nehmen, um nach einer Unterbrechung

des Normalbetriebs (z. B. durch Wartungsabschaltungen) zu einer stabilen Basislinie zurückzukehren. Es wurde eine Charakterisierungsstudie durchgeführt, um den Beitrag kritischer Faktoren zur Stabilisierungszeit von Messungen in UPW für Partikel von 20 nm und mehr zu bewerten. Es zeigte sich, dass invasive Maßnahmen, wie die Installation neuer Probenschläuche und Komponenten, den größten Einfluss auf die Stabilisierungszeit haben. Im Gegensatz dazu hatten nicht-invasive Maßnahmen, wie die Betätigung von PTFE- und PFA-Ventilen und die typische Aufwärmphase des Partikelzählers, einen weitaus geringeren Einfluss. Es wurde auch gezeigt, dass spezifische Maßnahmen, wie das angemessene Spülen neuer Schläuche und Komponenten und die Minimierung der Länge der Probenschläuche, die Partikelreinigungszeit wirksam reduzieren können.

In dieser Arbeit wird ein Ultra-DI 20 Flüssigpartikelzähler verwendet, um die Reinigungszeit nach verschiedenen Maßnahmen zu bestimmen.

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