Mikrobläschen als Verunreinigung: Zu berücksichtigende Faktoren
Mikrobläschen können als Verunreinigungen in Flüssigkeiten auftreten und Ertragsprobleme verursachen.
In der Halbleiterindustrie können Mikroblasen (Blasen mit einem Durchmesser von weniger als 100 µm) Verunreinigungen sein, die die Produktionsausbeute verringern. Wenn beispielsweise Mikrobläschen in Fotolack auf einen Wafer aufgebracht werden, können sie einen Defekt in der hergestellten Mikroschaltung verursachen und so zu einem vorzeitigen Ausfall führen. In diesem Beitrag werden einige der Faktoren erörtert, die die Bildung von Mikrobläschen in Flüssigkeiten beeinflussen, und es wird erläutert, wie Mikrobläschen mit Hilfe optischer Partikelzähler von harten Partikeln unterschieden werden können. Es werden experimentelle Ergebnisse in Wasser und dem gängigen Photoresist-Lösungsmittel Propylenglykolmethyletheracetat vorgestellt. Die Ergebnisse werden mit theoretischen Vorhersagen verglichen.
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