On-Demand
Monitoring der Partikelkontamination in hochreinen Prozesschemikalien
Die Überwachung der Partikelkontamination in hochreinen Prozesschemikalien führt zu einer verbesserten Ertragsrate.
Die kritische Dimension moderner Halbleiter wird immer kleiner. Es hat sich gezeigt, dass Killerpartikel bei diesen kleinen Geometrien aus vielen Quellen stammen können. Es reicht nicht mehr aus, sich auf die Analysezertifikate (CoA) von Herstellern hochreiner Materialien zu verlassen, insbesondere bei Lieferanten von Massen- und Spezialchemikalien. Eine kontinuierliche Partikelüberwachung von Chemikalien in allen Phasen des Chemikalienvertriebsprozesses ist erforderlich, um die für die Kontrolle erforderliche Ultra-Sauberkeit aufrechtzuerhalten.
Was Sie lernen werden:
- Auswirkungen des Transports auf die chemische Reinheit
- Schutz des Herstellungsprozesses durch Filtration
- Zeit bis zur Einsatzbereitschaft neuer Flüssigkeitsfilter
- Auswirkungen der Alterung von Flüssigkeitsfiltern auf den Prozess
- Optionen für die Überwachung chemischer Partikel in Prozesswerkzeugen am Einsatzort (Point-of-Use, PoU)
