Neuer 20-nm-Partikelzähler ermöglicht die Inline-Überwachung kritischer Lösungsmittelchemikalien in explosionsgefährdeten Halbleiterfertigungsumgebungen
NIWOT, Colorado – Particle Measuring Systems (PMS), ein weltweit führender Anbieter von Lösungen zur Kontaminationsüberwachung, gibt die Markteinführung des Chem 20™ SM bekannt, eines 20-nm-Partikelzählers für Lösungsmittel, der speziell für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen entwickelt wurde. Der Chem 20 SM wurde für die Überwachung von Lösungsmitteln wie IPA und PGMEA konzipiert und ermöglicht eine zuverlässige Inline-Partikelüberwachung mit entsprechender Ex-Zertifizierung, ohne dass die heute häufig eingesetzten kundenspezifischen Schutzgehäuse erforderlich sind.
Hersteller in der Halbleiterindustrie standen bislang vor erheblichen Herausforderungen bei der Partikelüberwachung in explosionsgefährdeten Lösungsmittelumgebungen. Herkömmliche Lösungen erfordern oft kostspielige, individuell entwickelte und stickstoffgespülte Schutzgehäuse für Standard-Partikelzähler. Dies erhöht Komplexität, Investitionskosten sowie den Wartungsaufwand. Der Chem 20 SM ist eine eigenständige Lösung, die speziell für die Installation in Ex-Bereichen entwickelt wurde und die Implementierung vereinfacht, ohne Kompromisse bei der Kontaminationskontrolle einzugehen.
„Der Chem 20 SM wurde entwickelt, um eine langjährige Herausforderung der Halbleiterindustrie zu lösen“, erklärt Badr Astiphan, Vice President bei Particle Measuring Systems. „Durch die Kombination von 20-nm-Partikeldetektion, Ex-Zertifizierung und einem kompakten, installationsfreundlichen Design ermöglichen wir unseren Kunden eine effizientere und sicherere Überwachung kritischer Lösungsmittelchemikalien.“
Die wichtigsten Vorteile des Chem 20 SM
- Speziell für die Überwachung von Lösungsmitteln in Ex-Bereichen entwickelt, mit integrierten Sicherheitsfunktionen.
- Kompaktes Inline-Design mit geringem Platzbedarf für die Installation.
- Niedrigere Implementierungskosten im Vergleich zu Lösungen mit zusätzlichen Schutzgehäusen.
- Kontinuierliche 24/7-Überwachung mit lokalem und remote Zugriff auf Messdaten.
- Optimiert für hochreine Lösungsmittelanwendungen, einschließlich IPA und Fotolack-Lösungsmitteln.
Der Chem 20 SM erfüllt internationale Anforderungen für explosionsgefährdete Bereiche, darunter IECEx, ATEX sowie NFPA 70 NEC Class I Division 2.
Mit dem Chem 20 SM können Halbleiterhersteller und Chemikalienlieferanten Kontaminationen näher am Prozess überwachen, ertragsmindernde Partikelereignisse früher erkennen und die Installation in Ex-Bereichen vereinfachen, ohne dabei Leistung oder Sicherheit zu beeinträchtigen.