Bei der Halbleiterherstellung können aufgrund der extrem kleinen Größe von Bauelementen 20 nm und kleinere Partikel Produktfehler verursachen und die Ausbeuten verringern. John Kearns diskutiert, wie nur Particle Measuring Systems (PMS) nachweislich Partikel bis 20 nm erfassen können. Erfahren Sie mehr über diesen branchenführenden Partikelzähler: Chem 20.