NanoAir™ Kondensationspartikelzähler
Erhalten Sie mit diesem speziell entwickelten 10-nm-Kondensationspartikelzähler Einblicke aus jedem Bereich Ihrer ultrareinen Umgebung. Steigern Sie die Betriebszeit und verbessern Sie die Ausbeute.
Überwachen Sie Halbleiterprozessgeräte mit dem kleinsten Formfaktor auf dem Markt.
Unterbrechungsfreie, wartungsfreie Überwachung für 12 Monate mit kontinuierlichen Messungen rund um die Uhr.
Beste Fehlerzählrate aller CPCs, die für die Überwachung ultrareiner Umgebungen entwickelt wurden.
Produktdetails
Reduzieren Sie Kontaminationen und verbessern Sie die Ausbeute dort, wo es am wichtigsten ist – mit unserem revolutionären Kondensationspartikelzähler (CPC) NanoAir™ 10.
Dies ist das einzige Multikanalsystem, das für den Transport und die Zuführung von Nanopartikeln ausgelegt ist.
Ein 10-Port-Verteiler-Begleitprodukt (ParticleSeeker™) unterstützt Anwendungen, bei denen mehrere Probenorte in sequenziellen oder programmierten Abläufen überwacht werden müssen.
Das 10-Port-Verteilersystem ermöglicht die Abdeckung einer gesamten EFEM/Miniumgebung mit einem einzigen CPC. Mit dem Verteilersystem erreichen Sie eine Abdeckung von 120 Quadratfuß.
Die Port-zu-Port-Zeit beträgt nur 0,1 Sekunden, bei minimiertem Übersprechen. Der Verteiler unterstützt verschiedene Betriebsmodi für:
- Werkzeugqualifizierung
- Nachverfolgung/Prozessverfolgung
- automatisierte Reaktion auf integrierte Fab-Ereignisse
- Wafer-Verfolgung innerhalb von Prozesswerkzeugen
Mit unserer FacilityNet Particle Monitoring Software oder durch direkte Übertragung an SCADA-Systeme oder Prozesswerkzeuge von Drittanbietern über das MODBUS-Ethernet-Protokoll können Sie Daten schnell anzeigen, analysieren und auswerten. Die Datenerfassung im 0,1-Sekunden-Takt ermöglicht eine präzise Steuerung und liefert umsetzbare Prozessinformationen.
Auf die Daten und das Gerät kann aus der Ferne zugegriffen werden.
Durch die Kombination von NanoAir 10 mit HPD-III können Inertgase mit hohem Druck bis zu einer Größe von 10 nm analysiert werden, wodurch eine hervorragende Kontrolle der Partikelverunreinigung für Gase gewährleistet wird, die in kritische Umgebungen gelangen.
Nanopartikelzähler NanoAir 10 in der Halbleiterfertigung
Erfahren Sie, wie der Einsatz eines Nanopartikelzählers in hochsensiblen Bereichen der Halbleiterfertigung dazu beiträgt, Verunreinigungen effektiv zu identifizieren und zu kontrollieren, um so die Ausbeute zu verbessern.
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