WEBINAR: Grundlagen der Filtration und Überwachung von Reinstwasser
23. September
10:00 Uhr, ca. 30-45 min
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Im Austausch mit Jochen Ruth, UPW and Water Reclaim Global Specialist bei Pall GmbH beleuchten wir, warum 50 nm heute Standard ist, 20 nm jedoch die Grundlage für höhere Sensitivität, bessere Reliability und eine zukunftssichere Auslegung von Reinstwassersystemen schafft.
Die Reinstwasseraufbereitung ist ein zentraler Prozess in der Halbleiterfertigung. In der Präsentation wird der UPW-Prozess gemäß SEMI F63 dargestellt und die Messtechnik entlang der Filterkaskade eingeordnet – von Ultrafiltration über Vorfilter bis zu Terminalfiltern.
Gemeinsam betrachten wir aktuelle Anforderungen an Filtration und Monitoring sowie die Frage, wie sich Reinstwassersysteme langfristig robuster und zukunftssicher auslegen lassen.
Ein zentraler Vorteil der höheren Sensitivität: Veränderungen in der Filterperformance werden früher sichtbar. Die in der Präsentation gezeigte Cartridge Filter Age Study beschreibt eine deutliche Korrelation zwischen Filteralter und 20-nm-Partikelanzahl und zeigt damit das Potenzial für optimierte Filterlaufzeiten und Tauschzyklen.
Erfahren Sie, wie 20-nm-Monitoring und der fachliche Austausch entlang der Filterkette Ihre Reinstwasserprozesse zukunftssicher machen. Melden Sie sich jetzt an.
Referenten
Christian Berbig
Sales Manager Electronics Division DACH
Christian ist ein Sales Manager in der Electronics Division und zuständig für den Vertriebsbereich Deutschland, Österreich und Schweiz.
Christian ist seit 2022 für Particle Measuring Systems tätig und engagiert sich seit 2023 auch ehrenamtlich als Botschafter der Spectris Foundation, welche die Bildung in den Bereich Mathematik, Informatik, Naturwissenschaft und Technik (MINT) fördert.
Christian hat einen Bachelor- und Master-Abschluss in Betriebswirtschaft.
Jochen Ruth
Global UPW and Reclaim Specialist bei Pall Corporation
Jochen Ruth ist seit 1996 bei Pall tätig und verfügt über einen Abschluss als Diplom-Verfahrenstechniker der TU Karlsruhe mit Schwerpunkt Flüssig-Feststoff-Trennung. Als Experte für Membranfiltration und Tangentialflussfiltration (TFF) beschäftigt er sich seit 2010 ausschließlich mit Anwendungen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Darüber hinaus engagiert er sich in internationalen Fachgremien wie SEMI und IRDS zu Themen rund um Ultra Pure Water (UPW).
