In Hightech-Fertigungsprozessen werden oft hochreine Gase benötigt. Das HPGP-101-C Hochdruckgas-Sensorsystem bietet ein zuverlässiges Inline-Monitoring von Prozessgasen auf Verunreinigungen bei Leitungsdruck. Das Hochdruckgas-Sensorsystem ist geeignet für Sauerstoff, Wasserstoff und die meisten ungiftigen Gase und kann in vielen Monitoring-Anwendungen für Reaktionsgase eingesetzt werden. Das Hochdruckgas-Sensorsystem beschleunigt die Qualifizierung von Prozessgas-Verteilungssystemen und weist Partikel in Gasen nach, bevor sie sich negativ auf die Produktivität auswirken können.

Das HPGP ist für den Einsatz in Kombination mit dem Partikeldatensystem – Ethernet (PDS-E) zum Sammeln der vom Sensor erfassten Daten und zum Erstellen der zugehörigen Berichte konzipiert.

Erfahren Sie mehr über die Kompatibilität von PMS-Partikelzählern mit Druckgas in dieser umfassenden Vergleichstabelle.