Der NanoAirTM 10 ist ein speziell entwickelter 10-nm-Aerosol-Partikelzähler, der die Erkennung von Partikeln ermöglicht, die die Ausbeute beeinträchtigen, in Prozesswerkzeugen, in kritischen Reinraumbereichen und in hochreinem komprimiertem Gas.
Der NanoAir 10 ist ein revolutionärer neuer Aerosol-Nanopartikelzähler von Particle Measuring Systems (PMS), der die Empfindlichkeit und Genauigkeit eines Kondensationspartikelzählers (CPC) mit der Benutzerfreundlichkeit und Funktionalität eines traditionellen Reinraum-Partikelzählers bietet. Er wurde für die Überwachung von ultrareinen Umgebungen entwickelt und bietet eine Nachweisempfindlichkeit von 10 nm bei einer Probenflussrate von 2,8 l/min.
Die Größe des neuen NanoAir 10 ist 83 % kleiner als Konkurrenzprodukte, wodurch er praktisch überall in ultrareinen Umgebungen eingesetzt werden kann, einschließlich in Halbleiterprozesswerkzeugen und Geräte-Front-End-Modulen (EFEM). Das innovative Design des Arbeitsflüssigkeitshandhabungssystems ist robust und effizient und ermöglicht einen 24/7-Dauerbetrieb an 365 Tagen, ohne dass zwischen der jährlichen Nachfüllung der Arbeitsflüssigkeit und der Kalibrierung ein Eingreifen des Benutzers erforderlich ist. Darüber hinaus ist der NanoAir 10 mit Hochdruckgas kompatibel, wenn er mit dem PMS HPD™ III – Hochdruckdiffusor verwendet wird. Daten können mit der PMS-Anlagenüberwachungssoftware angezeigt, analysiert und gemeldet oder direkt an SCADA-Systeme von Drittanbietern oder Prozesswerkzeugeingänge über MODBUS oder 4-20-mA-Ausgang übertragen werden.
In Verbindung mit dem NanoAir 10 ermöglicht der intelligente Verteiler ParticleSeeker™ mit 10 Anschlüssen Anwendungen, bei denen mehrere Probenorte erforderlich sind. Der ParticleSeeker ermöglicht dem NanoAir 10 die Überwachung von bis zu 10 Probenpunkten mit vollständig programmierbaren Sequenzen.
„Nur Particle Measuring Systems bietet Ihnen einen speziell entwickelten 10-nm-Aerosolpartikelzähler, der speziell für den Einsatz in den kritischsten Fabrikräumen und für Anwendungen entwickelt wurde, die jetzt die Überwachung in Miniumgebungen von Prozesswerkzeugen umfassen“, sagte Isidro Sanchez, Electronics Global Product Line Manager bei Particle Measuring Systems. Er fuhr fort: „Der bemerkenswert kompakte Formfaktor des NanoAir 10 und des dazugehörigen intelligenten Verteilers ParticleSeeker bieten Elektronikherstellern und Gaslieferanten jetzt die Möglichkeit, Aerosolpartikel bis zu einer Größe von 10 nm in Bereichen zu überwachen, die zuvor sehr schwer zugänglich waren. Das NanoAir erweitert buchstäblich die Reichweite unserer zuverlässigen und innovativen Aerosolproduktlinie, um sowohl die Ausbeute als auch die Leistung für unsere Kunden zu verbessern.“
