Knowledge Category: Liquid
Papier
Grundlagen der Nanopartikelkontamination in Reinstwassersystemen (UPW)
Führende Unternehmen der Halbleiterindustrie haben betont, wie wichtig es ist, die Kontamination durch Nanopartikel bei der Herstellung und Verteilung von ultrareinem Wasser (UPW) zu verstehen. Sie haben die Vorteile einer Überwachung der Partikelbasislinie bei 20 nm gegenüber der bestehenden Partikelleistung von 50 nm des modernsten UPW-Systems untersucht. Viele interessante Untersuchungen in diesem Bereich drehen sich um die Beweggründe, den Wert der Überwachung der Partikelgröße bis hinunter zu 20 nm im UPW-System zu untersuchen.
